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一方、特許文献2に記載のチャッキング装置では、コレットとエアシリンダ構造が隣接して配置されるために比較的コンパクトにはなるものの、両者が軸方向に配列されている点では上記と同様であり、構造上はコレットの大きさに対して実施例以上の小型化は難しい。また、コレット12がヘッドキャップ部3とピストン体20にそれぞれ局部的に接触するだけであるとともに、線ばね15や圧縮コイルばね18によって強制的に復帰するように構成されるため、コレットの位置精度を保ちにくいことから、把持部の把持精度や繰り返し精度が低下しやすいという問題がある。

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上記課題を解決するために、本発明のハンドリングユニットは、軸線方向の一部に設けられた基準部、該基準部の軸線方向先端側に接続された複数の弾性変形部、該弾性変形部の軸線方向先端側にそれぞれ接続されたフィンガー部、及び、該フィンガー部が半径方向に移動する態様で前記弾性変形部の弾性変形を生じさせるための駆動力を受ける被動部、を一体に有するコレットと、該コレットを収容するハウジングであって、前記コレットの外周側若しくは軸線方向基端側に構成されるとともに流体供給口を備えるシリンダ構造、及び、前記コレットを軸線方向の既定の係止位置において係止するコレット係止部、を有する前記ハウジングと、前記弾性変形を生じさせるための前記駆動力を前記被動部に与える駆動部、前記シリンダ構造の内部で前記流体供給口から供給される流体圧を受ける受圧部、及び、前記シリンダ構造の内面に対して軸線方向に気密に移動可能に摺接するシリンダ摺接部、を有する作動体と、を具備する。この場合において、前記基準部は、前記ハウジング若しくは前記作動体によって軸線に対する同軸状の位置及び姿勢が保持された状態にあることが好ましい。

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さらに、本実施形態では、コレット11がハウジング12内の軸線方向の既定の範囲で移動可能に構成されるため、ハンドリングユニット10が把持対象物へ向けてアクセスする際において、ハンドリングユニット10の位置制御不良、把持対象物の配置不良・形状不良などによってフィンガー部11cが外部との間で異常な干渉を生じた場合でも、軸線10xに沿った軸線方向基端側への後退によってコレット11の損傷を回避することができる。また、その回避動作によっても、上記基準部11aと支持面部13bの摺接構造によってコレット11の軸線10xに対する同軸状の位置及び姿勢は保持されるため、その後の作動精度が低下する虞はない。

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本発明において、前記作動体では、前記シリンダ摺接部と前記シリンダ構造の内面とが気密に構成される軸線方向の範囲に対して、相互に重なる軸線方向の範囲に前記コレット摺接部が設けられることが好ましい。ここで、前記シリンダ側摺接部と前記シリンダ構造の内面とが気密に構成される軸線方向の範囲は、前記シリンダ側摺接部と前記シリンダ構造の内面との間に単一のシール部材のみが配置される場合には当該シール部材が配置される軸線方向の範囲、或いは、複数のシール部材が配列される場合には、複数のシール部材の間の相互に最も離れたシール部材の間にわたる軸線方向の範囲である。

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また、本実施形態では、内周側規制ピン16及び外周側規制ピン17によって、コレット11及び作動体13がハウジング12に対して回転方向に規制されるので、複数のフィンガー部11cの把持面11gによって把持可能な把持対象物に対する把持形状を、円形断面だけでなく、角形断面や楕円断面などの任意に設定することができる。なお、ハンドリングユニット10の回転姿勢を把持対象物の姿勢に合わせることは、後述するハンドリング装置の制御部100によるユニット駆動系の制御によってなされる。

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